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2001年 ニュースリリース

4月5日　

 

高出力ＧＭＲセンサーの開発について

　日立金属は、この度、ＧＭＲ(Giant Magneto-Resistive：巨大磁気抵抗効果)膜を用いた高出力で温度変化に強いＧＭＲセンサーを開発しましたのでお知らせいたします。

1．経緯

　 当社は、磁気信号を読み取り、回転角度や位置を検出するロータリーエンコーダー、リニアエンコーダー用ＡＭＲ(Anisotropic Magneto-Resistive：異方性磁気抵抗効果)センサーを生産しております。
　この磁気センサーは、光学式などの他センサーと比較し、種々多様な環境下で使用が可能であり、工業用工作機械やプリンターなどのＯＡ機器等の位置決め用に幅広く使用されております。
近年、これらの機器の高性能化、小型化に伴い、高出力、高感度、高分解能な磁気センサーの開発が求められてきました。
　これらの要求に応えるには、従来のＡＭＲセンサーでは限界があり、新しい素子の開発が必要となりました。そこで、当社は、これまで磁気ヘッドウェハーのプロセス分野で培ってきた超薄膜技術、薄膜積層技術および材料設計技術を活用し、温度変化に強く対環境性に優れた「独自のＧＭＲ素子」の開発に成功し、この素子を使用した高出力かつ高安定なＧＭＲセンサーを商品化いたしました。
　このＧＭＲセンサーの実用化により、コンパクトで高精度な位置決めが可能となり、例えばカメラ、プリンターなどの小型、高精細な機器への更なる用途の拡大が期待されます。

2．特長

(1)高出力

・当社ＡＭＲセンサー比：出力3倍 　・素子磁気抵抗変化率：10％(±7000Ａ／ｍ時)

(2)高い信頼性

・-40℃〜120℃間の出力変動：±20％以下 　・250℃の熱プロセス後も特性変化は、5％以下

3．仕様

(1)	回路抵抗値	500Ω
(2)	磁気抵抗変化率	10％(±7000Ａ／ｍ時)
(3)	低磁界感度	5％(±2000Ａ／ｍ時)
(4)	飽和磁界	7000Ａ／ｍ
(5)	使用温度範囲	-40℃〜120℃
(6)	中点電位	2．5Ｖ±0．5Ｖ
(7)	中点ドリフト	±5ｍＶ以下

4．用途

　 工作機械、カメラ、プリンター、複写機などに用いられるロータリーエンコーダー、リニアエンコーダー、モーションセンサー、位置センサー等

5．特許

　 5件

6．販売計画

　 2001年度　　10万個／月
　2002年度　100万個／月

7．製造および販売

　 日立金属(株)　新事業開発センター