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2001年 ニュースリリース

4月9日　

 

コンパクトデジタルマスフローコントローラの販売開始

　日立金属は、半導体製造に使用される各種ガスの精密流量制御装置(マスフローコントローラ、メタルダイアフラムバルブおよびそれらを組み合わせたユニット機器)を販売しております。
　この度、コンパクトデジタルマスフローコントローラ　ＳＦＣ1480Ｆシリーズを開発し、販売を開始しましたので、お知らせいたします。

1．経緯

　 半導体製造装置において、高純度ガスの流量を高精度でコントロールするマスフローコントローラ(以下、ＭＦＣ)は最も重要な部品の一つです。半導体の高性能化および低価格化に伴い、半導体製造装置において、その制御諸条件のデジタル通信によるモニターや、装置側での部品点数削減が可能となるデジタルＭＦＣの需要が増加の一途をたどっています。
　当社では1995年より高速・高精度デジタルＭＦＣとして「ＳＦＣ480Ｆ Ｆａｎｔａｓ(ファンタス)シリーズ」を開発、販売しております。
　この度、顧客のコンパクト化への要望に適合し、あわせて新しいデジタル制御コンセプトを採用した高速・高精度コンパクトデジタルＭＦＣである「ＳＦＣ1480Ｆ Ｆａｎｔａｓシリーズ」を開発し、一般販売を開始いたしました。

2．ＳＦＣ1480Ｆシリーズの特長

　 ＳＦＣ1480Ｆシリーズは、面間サイズが106ｍｍと従来のタイプ(124ｍｍ)に比べコンパクトになっているだけではなく、新方式のデジタル制御アルゴリズム(特許出願中)を採用しております。これによってアナログＭＦＣにはない各種機能を実現し、さらに従来のデジタルＭＦＣにもなかったステップ設定入力^注に対する高速応答性や、入口圧変動に対する高速追従性が実現されました。

注．ステップ設定入力
ＭＦＣの流量設定入力を0から所定の流量に階段状に変更すること。

　具体的な特長は次のとおりです。

(1)高速応答および高速追従
1)	全ての設定範囲で1秒(ｔｙｐ)の高速応答 (当社従来品比：約1／2)
2)	入口圧変動に対して高速で追従 (当社従来品比：約1／2)
(2)高精度
1)	デジタル多点校正により高精度化を達成(±0．5％ＦＳ)
2)	ゼロ点ずれを極小とした高信頼性流量センサー (当社従来品比：約1／2)
(3)高機能化
1)	デジタル通信機能による動作状況のモニター可能
2)	面間サイズは106ｍｍとコンパクト。従来の124ｍｍや各社集積ユニットへの対応も可能
3)	デュアルレンジ対応可能
(4)シンプルな構造
1)	詰りや再液化の少ないシンプルバルブ構造

3．生産体制

　 ＳＦＣ1480Ｆシリーズは、製造ラインの整備を完了し、現在月産1000台の製造能力を有しております。
　ＳＦＣ1480Ｆシリーズは、その高速応答性と安定した流量制御が高く評価されており、今後、当社デジタルＭＦＣのメイン機種として、大きな需要の伸びが見込まれます。

4．販売計画

　 2003年度の売上はＭＦＣ全体で30億円を計画しており、ＳＦＣ1480Ｆシリーズの寄与を大きく見込んでおります。

5．特許

　 2件出願中

6．製造および販売

　 製造：桑名工場(三重県)
　販売：配管機器カンパニー

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(添付資料)ＳＦＣ1480Ｆシリーズの仕様一覧表

項目		仕様
型式		ＳＦＣ1480Ｆ	ＳＦＣ1481Ｆ	ＳＦＣ1482Ｆ
標準流量(Ｎ2換算)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5 SLM	10 SLM	20/30SLM
バルブ動作		ノーマリオープン・ノーマリクローズ
動作圧力	入口側圧力	0.05〜0.3MPa(Gauge)		0.1〜0.3MPa(Gauge)
	出口側圧力	真空 〜 大気圧
流量制御範囲		フルスケールの2〜100％
精　度		フルスケールの±0．5％
応答性		設定値の±2％以内に1．5秒以内
耐　圧		1．0 ＭＰａ(Gauge)
温度条件	使用温度範囲	5〜50℃
	精度保証範囲	15〜35℃
	ベーキング	80℃
外部リーク 規格	メタルシール	1×10-11Pa･m3/s(He)以下
	ラバーシール	1×10-8Pa･m3/s(He)以下
要部材質	弁座	ＳＵＳ316Ｌ
	ダイアフラム	ＹＥＴ101(Ｎｉ-Ｃｏ合金)
	センサー部	ＳＵＳ316Ｌ，Ｎｉろう付け		Ｎｉ
シール部	メタルシール	メタルＯリング(SUS316L-Ｎｉメッキ)、Ｎｉろう付け
	ラバーシール	ＰＴＦＥ、バイトンＯリング、Ｎｉろう付け
流量設定信号		0．1〜5ＶＤＣ(絶対定格±15ＶＤＣ以内)
流量出力信号		0〜5ＶＤＣ(ｍａｘ：＋15ＶＤＣ，ｍｉｎ：-15ＶＤＣ)
所要電源		＋15ＶＤＣ(±4％)100ｍＡ(max120ｍＡ)
		-15ＶＤＣ(±4％)100ｍＡ(max120ｍＡ)
接ガス部表面仕上		特殊電解研磨(標準)
外部接続コネクタ		Ｄ-subminiature(9ピン)コネクタ
継手部		1／4 ＨＭＪ(ＵＪＲタイプ、オス)