2002年11月6日
日立金属株式会社
ナノ結晶材料を用いた長尺タイプの
磁気シールドシートの開発と量産開始
―――需要拡大に対応―――
日立金属は、この度、需要が拡大する低磁界用磁気シールドルーム用に、施工性を大幅に向上させた、ロールタイプ ファインメット®磁気シールドシート“MS−FR”を開発し、量産体制を整えましたのでお知らせいたします。

ロールタイプ ファインメット®磁気シールドシート“MS−FR”
記
1.開発の経緯
近年、電子ビーム描画装置、走査型電子顕微鏡、核磁気共鳴装置(MRI)、超伝導量子干渉素子(SQUID*1)を使った装置などの設備を収容する、低磁界用磁気シールドルームの需要が拡大しています。従来、その磁気シールド材にはパーマロイが用いられてきました。磁気シールド特性は良好ですが、加工後に熱処理(水素雰囲気中1,100℃)が必要な上、重く、施工時の変形によりシールド特性が大きく劣化するなど、施工性に問題がありました。
当社は、このようなパーマロイの欠点を解消したファインメット®磁気シールドシート“MS−F”を既に製品化しています。磁気シールド特性が良好で、薄型・軽量(厚さ0.12mm、0.2kg/m2)、加工後の熱処理が不要な上、施工時の変形による特性劣化も小さく、施工性に優れることから市場で注目を集めてきました。しかしながら、シートサイズが0.46m×0.61mと小さいため、施工時の作業効率に問題があり、サイズの大型化が求められていました。
この度、ロールタイプで長さ100mを実現したファインメット®磁気シールドシート“MS−FR”を開発し、量産とサンプル対応を開始しました。
長尺化により施工性が大幅に向上するとともに、大幅なコストダウンも実現いたしました。
2.製品の概要および特徴
当社独自のナノ結晶軟磁性材ファインメット®箔帯をPET*2フィルムではさみこんだ、磁気シールドシートの長尺ロールタイプ製品です。
| (1) |
長尺ロールタイプ(標準寸法:0.12mm×0.47m×100m)のため、従来製品(標準寸法:0.12mm×0.46m×0.61m)に比べて大幅に施工性が向上。 |
| (2) |
従来製品と同一特性(μrmax=70,000 at DC)を持ち、軽量、加工後の熱処理が不要、施工時の変形による特性劣化が小さく、変形を気にせずに作業できるため施工性が良い。 |
| 【例】 |
“MS−FR”を9枚重ねた厚さ約1mmのシールドシートは、50Hz、10μTの交流磁界に対し、厚さ1mmのパーマロイと同等のシールド特性(ASTM法*3、300mm角ボックスにて約30dB)を持つ。このとき、単位面積あたりの重量は、約1/5の約1.8kg/m2となる。

MS-FRの構造模式図
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3.特許
特許15件出願済(1件登録)。
4.販売計画
2002年度 1億円
2003年度 5億円
2005年度 10億円
5.製造及び販売
製造:ファインメット事業推進部 ファインメット工場(鳥取市)
販売:ファインメット事業推進部
以 上 |