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2002年 ニュースリリース

11月6日　

 

ナノ結晶材料を用いた長尺タイプの
磁気シールドシートの開発と量産開始

----需要拡大に対応----
　日立金属は、この度、需要が拡大する低磁界用磁気シールドルーム用に、施工性を大幅に向上させた、ロールタイプ ファインメット^®磁気シールドシート"ＭＳ-ＦＲ"を開発し、量産体制を整えましたのでお知らせいたします。



ロールタイプ ファインメット^®磁気シールドシート"ＭＳ-ＦＲ"

1．開発の経緯

　 近年、電子ビーム描画装置、走査型電子顕微鏡、核磁気共鳴装置（ＭＲＩ）、超伝導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ^＊1）を使った装置などの設備を収容する、低磁界用磁気シールドルームの需要が拡大しています。従来、その磁気シールド材にはパーマロイが用いられてきました。磁気シールド特性は良好ですが、加工後に熱処理（水素雰囲気中1,100℃）が必要な上、重く、施工時の変形によりシールド特性が大きく劣化するなど、施工性に問題がありました。
　当社は、このようなパーマロイの欠点を解消したファインメット^®磁気シールドシート"ＭＳ-Ｆ"を既に製品化しています。磁気シールド特性が良好で、薄型・軽量（厚さ0.12ｍｍ、0.2kg/m²）、加工後の熱処理が不要な上、施工時の変形による特性劣化も小さく、施工性に優れることから市場で注目を集めてきました。しかしながら、シートサイズが0.46m×0.61mと小さいため、施工時の作業効率に問題があり、サイズの大型化が求められていました。
　この度、ロールタイプで長さ100ｍを実現したファインメット^®磁気シールドシート"ＭＳ-ＦＲ"を開発し、量産とサンプル対応を開始しました。
　長尺化により施工性が大幅に向上するとともに、大幅なコストダウンも実現いたしました。

2．製品の概要および特徴

　 当社独自のナノ結晶軟磁性材ファインメット^®箔帯をＰＥＴ^＊2フィルムではさみこんだ、磁気シールドシートの長尺ロールタイプ製品です。

（１）	長尺ロールタイプ（標準寸法：0.12mm×0.47m×100m）のため、従来製品（標準寸法：0.12mm×0.46m×0.61m）に比べて大幅に施工性が向上。
（２）	従来製品と同一特性（μrmax=70,000 at DC）を持ち、軽量、加工後の熱処理が不要、施工時の変形による特性劣化が小さく、変形を気にせずに作業できるため施工性が良い。
【例】	"ＭＳ-ＦＲ"を9枚重ねた厚さ約１ｍｍのシールドシートは、50Hz、10μTの交流磁界に対し、厚さ1mmのパーマロイと同等のシールド特性（ASTM法＊３、300mm角ボックスにて約30dB）を持つ。このとき、単位面積あたりの重量は、約1/5の約1.8kg/m2となる。 MS-FRの構造模式図

3．特許

　 特許１５件出願済（１件登録）。

4．販売計画

　 ２００２年度 　１億円
　２００３年度 　５億円
　２００５年度 １０億円

5．製造及び販売

　 製造：ファインメット事業推進部　ファインメット工場（鳥取市）
　販売：ファインメット事業推進部


この件に関するお問い合わせ先

	日立金属（株）ファインメット事業推進部	担当　目黒　TEL　０３-５７６５-４０５５
	日立金属（株）広報室	担当　小林　TEL　０３-５７６５-４０７９

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＊１　SQUID（Superconducting Quantum Interference Device）
地磁気の数千万分の1以下の磁場を検出することが可能な高感度の磁気センサー。超電導の量子化現象を利用し、従来の磁気センサーに対し千倍以上の感度を持つ。高温超電導薄膜を用いたSQUIDの開発により、液体窒素温度（77.3K）で動作が可能となった。

＊２　PET（Poly Ethylene Terephthalate）
ポリエチレンテレフタレート。PETボトルのPET。

＊３　ASTM法
ASTM（アメリカ材料試験協会規格）で定められた磁気シールド材の測定方法。磁気シールド材で30cm角の立方体を作り、その内部にガウスメーター（磁界を測定するセンサー）を設置し、外部から磁界をかけて測定する。