2002年11月6日
日立金属株式会社
ナノ結晶材料を用いた長尺タイプの
磁気シールドシートの開発と量産開始
―――需要拡大に対応―――
日立金属は、この度、需要が拡大する低磁界用磁気シールドルーム用に、施工性を大幅に向上させた、ロールタイプ ファインメット®磁気シールドシート“ＭＳ−ＦＲ”を開発し、量産体制を整えましたのでお知らせいたします。
ロールタイプ ファインメット®磁気シールドシート“ＭＳ−ＦＲ”
記
1．開発の経緯
近年、電子ビーム描画装置、走査型電子顕微鏡、核磁気共鳴装置（ＭＲＩ）、超伝導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ＊1）を使った装置などの設備を収容する、低磁界用磁気シールドルームの需要が拡大しています。従来、その磁気シールド材にはパーマロイが用いられてきました。磁気シールド特性は良好ですが、加工後に熱処理（水素雰囲気中1,100℃）が必要な上、重く、施工時の変形によりシールド特性が大きく劣化するなど、施工性に問題がありました。
当社は、このようなパーマロイの欠点を解消したファインメット®磁気シールドシート“ＭＳ−Ｆ”を既に製品化しています。磁気シールド特性が良好で、薄型・軽量（厚さ0.12ｍｍ、0.2kg/m2）、加工後の熱処理が不要な上、施工時の変形による特性劣化も小さく、施工性に優れることから市場で注目を集めてきました。しかしながら、シートサイズが0.46m×0.61mと小さいため、施工時の作業効率に問題があり、サイズの大型化が求められていました。
この度、ロールタイプで長さ100ｍを実現したファインメット®磁気シールドシート“ＭＳ−ＦＲ”を開発し、量産とサンプル対応を開始しました。
長尺化により施工性が大幅に向上するとともに、大幅なコストダウンも実現いたしました。
2．製品の概要および特徴
当社独自のナノ結晶軟磁性材ファインメット®箔帯をＰＥＴ＊2フィルムではさみこんだ、磁気シールドシートの長尺ロールタイプ製品です。
| （１） |
長尺ロールタイプ（標準寸法：0.12mm×0.47m×100m）のため、従来製品（標準寸法：0.12mm×0.46m×0.61m）に比べて大幅に施工性が向上。 |
| （２） |
従来製品と同一特性（μrmax=70,000 at DC）を持ち、軽量、加工後の熱処理が不要、施工時の変形による特性劣化が小さく、変形を気にせずに作業できるため施工性が良い。 |
| 【例】 |
“ＭＳ−ＦＲ”を9枚重ねた厚さ約１ｍｍのシールドシートは、50Hz、10μTの交流磁界に対し、厚さ1mmのパーマロイと同等のシールド特性（ASTM法＊３、300mm角ボックスにて約30dB）を持つ。このとき、単位面積あたりの重量は、約1/5の約1.8kg/m2となる。
MS-FRの構造模式図
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3．特許
特許１５件出願済（１件登録）。
4．販売計画
２００２年度 １億円
２００３年度 ５億円
２００５年度 １０億円
5．製造及び販売
製造：ファインメット事業推進部 ファインメット工場（鳥取市）
販売：ファインメット事業推進部
以 上 |
