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2005年 ニュースリリース

12月6日　

 

業界初オールインワン・マスフローコントローラを開発、販売開始

----ガス供給システム設置面積の半減が可能----
----半導体製造装置の稼働率アップに貢献----

日立金属株式会社(本社：東京都港区、社長：本多義弘、以下日立金属)は、ガスの流量を精密に制御するマスフローコントローラ（以下ＭＦＣ）※１に、圧力センサーなどの周辺機器を組み込み、オールインワン化するとともに、ユーザーにてガス種・レンジ変更、流量検定、校正までを可能としたＭＦＣ(ＳＦＣ１４８０Ｇシリーズ)を開発し、販売を開始いたしました。このＭＦＣは、半導体業界から強く求められているガス供給システムの設置面積半減を可能とするだけでなく、保守用予備機への交換作業や捨てガス工程※２を削減し、半導体製造装置の稼働率アップに貢献いたします。

１．開発の背景

　 半導体製造ラインにおいて、ＭＦＣは、成膜、エッチング^※３等を行うガス供給システムの中で、精密にガス流量を制御する役割を持ち、最も重要な部品の一つです。半導体ウェハの大口径化に伴い、半導体製造装置も大型化する中で、ガス供給システムへの小型化要求が年々高まり、その構成部品であるＭＦＣ及び周辺機器の小型化へのニーズも非常に高くなっております。
　また、ＭＦＣを使用する際、ガス種の変更、レンジの変更、装置搭載状態での流量検定、校正の実施は、ユーザーでは行えず、その度に装置の停止作業とＭＦＣ取り外し及び保守用予備機への交換作業時間が発生し、半導体製造装置の稼働率低下の要因になるため、改善が求められておりました。

２．開発の概要

日立金属は、約２０年間にわたり、高精度、高機能なＭＦＣを製造・販売してまいりました。この度、ガス供給システムの小型化、高性能化を図るために、これまで培った技術をベースとして、新しいコンセプトを採用したオールインワン・ＭＦＣ(ＳＡＭ　ＳＦＣ１４８０Ｇシリーズ)を開発いたしました。

マスフローコントローラ

３．製品の特長

　 開発したＭＦＣは、周辺機器(フィルター、圧力センサー、レギュレータ^※４、シャットオフバルブ^※５)をＭＦＣに組み込みオールインワン化するとともに、ＭＦＣをガス供給システムから取り外すことなくユーザーでのガス種・レンジ変更、流量検定、校正を行うことを可能といたしました。このオールインワン・ＭＦＣにより、半導体製造ラインにおけるガス供給システムの機器点数を削減でき、設置面積(フットプリント)を半減することが可能になるほか、保守用予備機への交換作業や捨てガス工程を削減し、半導体製造装置の稼働率アップに貢献いたします。

特長詳細

（１）	オールインワンによりガス供給システムの設置面積(フットプリント)半減が可能
	ＰＩ（一次側圧力変動影響抑制）機能内蔵
	・	上流での圧力変動が制御流量に与える影響を軽減する機能を搭載により、圧力センサー、レギュレータが不要
	フィルター機能内蔵
（２）	半導体製造装置の稼働率アップ
	ガスシャットオフ機能内蔵 （特許出願中）
	・	ＭＦＣで完全にガスを閉止する為、バルブを小型化して内蔵することにより、デットボリューム(MFC内の残留ガス)を大幅に減らし、捨てガス工程を短縮
	ユーザーでガス種・レンジ変更、校正が可能
	・	実際に使用するガス(実ガス)での流量計測データを内蔵し、実ガスでの精度保証を実現
	・	マルチガス・マルチレンジ機能により、ガス種変更、流量変更が容易
	・	ＭＦＣを取り外さずにインライン(装置搭載状態)で流量検定＆校正が可能（特許出願中）
	・	当社従来品では約300種類必要だった予備品在庫を10種類まで圧縮可能

４．販売計画

出荷開始予定：	２００６年　春
売上高：	２００８年度：３０億円／年

５．特許

　２件出願中

６．製造および販売

　 製造：配管機器カンパニー桑名工場（三重県桑名市）
　販売：配管機器カンパニー

７．その他

　 １２月７日（水）〜９日（金）、日本コンベンションセンター・幕張メッセ（千葉市）にて開催される半導体製造装置・材料に関する世界最大級の国際展示会「セミコン・ジャパン２００５」に、本製品の展示・紹介を行います。

【お客様からのお問い合わせ】
配管機器カンパニー機器営業室	担当　木村、黒田	TEL０３-５７６５-４２９６
【報道関係者からのお問い合わせ】
コミュニケーション室	担当　南	TEL０３-５７６５-４０７９

ご参考
【用語解説】

※１	マスフローコントローラ
	Mass Flow Controller=質量流量制御器 熱式流量センサーを搭載し、温度、圧力環境が変化しようと自動的にガス流量を一定に制御する配管機器
※２	捨てガス工程
	半導体製造装置で、チャンバー内へのガスの導入時に突入流量（サージ）が生じることでプロセスに悪影響を及ぼすことを嫌い、安定までの数十秒間ガスを排気ラインに捨てる工程
※３	エッチング
	金属の必要部分を残して溶解し、配線パターンなどを作る工程
※４	レギュレータ
	ガスボンベから供給されるガスの圧力を一定の圧力に制御する配管機器
※５	シャットオフバルブ
	閉止弁。ガスを遮断する弁構造を有する配管機器