| リニアモータ駆動大型XY θステージ |
| この製品は「マグネット/コンピュータ・半導体IC用・装置・部品・材料」にも使用されています。 |
リニアモータステージ
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リニアモータコントローラ |
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| 概要 |
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイの大判化および高精細化の進展にともない、それらの製造装置には高速・高精度位置決めおよび大ストローク化の要求が多くなっています。
これらの要求を満足し、さらに次世代プロセスを視野に入れたリニアモータダイレクト駆動による大型XY  ステージの開発および製品化を行いました。
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| 特長 |
システムの高いパフォーマンスは推力を発生するモータ部、これを制御するコントローラ部、高精度な走りを可能にするステージ部のトータル性能が必要です。これらを一貫して開発した本システムは以下の特長を持っています。
| (1） |
高速・高精度位置決め：高性能希土類マグネットを使用したPM 型直流コアレスコイルモータで各軸をダイレクト駆動するため、ロングストローク仕様でも高速でかつ高精度の位置決めが可能です。また高速・高精度の両立は従来の粗動用ステージと微動用ステージの組み合わせが不要で、システムの簡素化や小型・軽量化を実現しました。 |
| (2) |
低騒音、低発塵：ボールネジを使用しないステージ構成のため低騒音化できます。オイルミスト飛散原因となる回転部がないので低発塵です。 |
| (3) |
高信頼性、低コスト、短納期モータコア部に当社標準リニアモータを採用。高信頼性およびパーツの共通化により安価で短納期のシステム構築が可能です。 |
| (4) |
幅広い汎用性自社開発のモータコントローラは、マイコンにより制御プログラムの書き換えができます。また低速から高速まで広い運転領域の要求や、位置決め用途または等速性用途などさまざまな要求に個別の対応ができます。 |
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| 基本仕様 |
| 項目 |
単位 |
仕様 |
| モータ推力・トルク |
Ｘ軸 |
N |
200 |
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Ｙ軸 |
N |
300 |
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軸 |
N・m |
50 |
| ストローク |
Ｘ軸 |
mm |
1100 |
| |
Ｙ軸 |
|
1600 |
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軸 |
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±5 |
| 負荷重量 |
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N |
588 |
| 絶対位置精度 |
Ｘ軸 |
 m |
30 |
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Ｙ軸 |
m |
30 |
| |
軸 |
m |
30 |
| 繰返し位置精度 |
Ｘ軸 |
m |
±1 |
| |
Ｙ軸 |
m |
±1 |
| |
軸 |
m |
±2 |
| ＸＹ 軸直角度 |
400×600 |
m |
25 |
| 平面度 |
|
m |
40 |
| 真直度 |
Ｘ軸：垂直方向 |
m |
10 |
| |
水平方向 |
m |
10 |
| |
Ｙ軸：垂直方向 |
m |
10 |
| |
水平方向 |
m |
10 |
| ピッチング |
Ｘ軸 |
m |
10 |
| |
Ｙ軸 |
m |
10 |
| ヨーイイング |
Ｘ軸 |
m |
10 |
| |
Ｙ軸 |
m |
10 |
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| リニアモータ |
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NEOMAXエンジニアリング株式会社 関東営業部
TEL: 03-5765-4301
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