Hitachi Metals, Ltd.

システムの高いパフォーマンスは推力を発生するモータ部、これを制御するコントローラ部、高精度な走りを可能にするステージ部のトータル性能が必要である。これらを一貫して開発した本システムは以下の特長をもつ。

• 高速・高精度位置決め高性能希土類マグネットを使用したPM 型直流コアレスコイルモータで各軸をダイレクト駆動するため、ロングストローク仕様でも高速でかつ高精度の位置決めが可能である。また高速・高精度の両立は従来の粗動用ステージと微動用ステージの組み合わせが不要で、システムの簡素化や小型・軽量化を実現した。
• 低騒音、低発塵ボールネジを使用しないステージ構成のため低騒音化できる。オイルミスト飛散原因となる回転部がないので低発塵である。またモータは非接触で駆動するのでメンテナンスフリーである。
• 高信頼性、低コスト、短納期モータコア部に当社標準リニアモータを採用。高信頼性およびパーツの共通化により安価で短納期のシステム構築が可能である。
• 幅広い汎用性自社開発のモータコントローラは、マイコンにより制御プログラムの書き換えができる。また低速から高速まで広い運転領域の要求や、位置決め用途または等速性用途などさまざまな要求に個別の対応ができる。
  

項目		単位	仕様
モータ推力・トルク	Ｘ軸	N	200
	Ｙ軸	N	300
	θ軸	N・m	50
ストローク	Ｘ軸	mm	1100
	Ｙ軸		1600
	θ軸		±5
負荷重量		N	588
絶対位置精度	Ｘ軸	μm	30
	Ｙ軸	μm	30
	θ軸	μm	30
繰返し位置精度	Ｘ軸	μm	±1
	Ｙ軸	μm	±1
	θ軸	μm	±2
ＸＹ 軸直角度	400×600	μm	25
平面度		μm	40
真直度	Ｘ軸：垂直方向	μm	10
	水平方向	μm	10
	Ｙ軸：垂直方向	μm	10
	水平方向	μm	10
ピッチング	Ｘ軸	μm	10
	Ｙ軸	μm	10
ヨーイイング	Ｘ軸	μm	10
	Ｙ軸	μm	10

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