液晶ディスプレイやプラズマディスプレイの大判化および高精細化の進展にともない、それらの製造装置には高速・高精度位置決めおよび大ストローク化の要求が多くなっています。
これらの要求を満足し、さらに次世代プロセスを視野に入れたリニアモータダイレクト駆動による大型XY ステージの開発および製品化を行いました。