ターゲットの上側に磁場を形成する（ターゲットの裏側に磁石を置く）ことにより、電子をターゲット近傍に閉じ込め基板へのダメージを低減させることが出来ます。当社ではご要望の磁場分布をシュミレーションし、最適な磁気回路を提供します。