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マグネット
スパッタリング用磁気回路
概要
ターゲットの上側に磁場を形成する（ターゲットの裏側に磁石を置く）ことにより、電子をターゲット近傍に閉じ込め基板へのダメージを低減させることが出来ます。当社ではご要望の磁場分布をシュミレーションし、最適な磁気回路を提供します。
問い合わせ先
NEOMAXエンジニアリング株式会社 関東営業部 TEL : 03-5765-4301
お問い合わせフォーム
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