| マスフローコントローラー＆メタルダイアフラムバルブ |
| この製品は「配管・設備機器部材」にも使用されています。 |
| マスフローコントローラ |
メタルダイアフラムバルブ |
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| 概要 |
半導体生産設備の性能向上を目指し、高度な研究開発の成果を生かした高性能精密流体制御機器を商品化、ハイテク産業の発展に貢献しています。
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| 製品名 |
製品
カタログ |
| コンパクトデジタルマスフローコントローラSFC1480Fシリーズ |
 661KB |
| マスフローコントローラ 1480G/2480Gシリーズ |
1,186KB |
| マスフローコントローラSFC1480FX/2480FXシリーズ |
918KB |
| マスフローコントローラ
アクセサリー |
654KB |
| 集積ガスパネル |
549KB |
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