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コンピュータ・半導体IC用・装置・部品・材料
マスフローコントローラー＆メタルダイアフラムバルブ
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| マスフローコントローラ | メタルダイアフラムバルブ |
概要
半導体生産設備の性能向上を目指し、高度な研究開発の成果を生かした高性能精密流体制御機器を商品化、ハイテク産業の発展に貢献しています。
製品カタログ（PDFファイル）
| 製品名 | ファイル容量 |
|---|---|
| コンパクトデジタルマスフローコントローラ SAM® SFC1480Fシリーズ | 661KB  |
| マスフローコントローラ SAM® 1480G/2480Gシリーズ | 1,186KB |
| マスフローコントローラ SAM® SFC1480FX/2480FXシリーズ | 918KB |
| マスフローコントローラアクセサリー | 654KB |
| 集積ガスパネル | 549KB |
| マスフローコントローラ Aera® FC-PAR78シリーズ | |
| マスフローメーター Aera® FM-PAR86シリーズ | |
| マスフローコントローラ Aera® FC-DNR78シリーズ | |
| マスフローメーター Aera® FM-DNR86シリーズ | |
| マスフローコントローラ Aera® FC-DR98シリーズ | |
| マスフローコントローラ Aera® FC-R77シリーズ | |
| マスフローメーター Aera® FM-R37シリーズ | |
| マスフローコントローラ Aera® FC-R78シリーズ | |
| マスフローメーター Aera® FM-R87シリーズ | |
| マスフローコントローラ Aera® FC-PI98シリーズ | |
| 気化器 Vaporizer ASシリーズ | |
| リフィールシステム Refill system RSシリーズ | |
| 排気圧コントローラ Pressure controller EPV100シリーズ |
問い合わせ先
| 事業所 | 所在地 |
|---|---|
| 本社 | 〒105-8614 東京都港区芝浦一丁目2番1号(シーバンスN館) TEL : 03-5765-4000 FAX : 03-5765-8311 |
| ファインフロー事業部 | 〒192-0032 東京都八王子市石川町2971-8 TEL : 042-645-8139 FAX : 042-660-1701 |
| 営業部 | 〒192-0032 東京都八王子市石川町2971-8 TEL : 042-645-8753 FAX : 042-660-0320 |
| カスタマーサポート | 〒192-0032 東京都八王子市石川町2971-8 TEL : 042-645-8253 FAX : 042-660-0320 |
| 北日本支店 | 〒980-0021 仙台市青葉区中央二丁目10番30号(仙台明芳ビル5F) TEL : 022-267-0216 FAX : 022-266-7891 |
| 関西支店 | 〒541-0041 大阪市中央区北浜三丁目5番29号(日生淀屋橋ビル) TEL : 06-6203-9755 FAX : 06-6202-0730 |
| 中国支店 | 〒730-0013 広島市中区八丁堀16番11号(日本生命広島第2ビル) TEL : 082-221-4486 FAX : 082-221-4488 |
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