Hitachi Metals, Ltd.

半導体生産設備の性能向上を目指し、高度な研究開発の成果を生かした高性能精密流体制御機器を商品化、ハイテク産業の発展に貢献しています。

製品名	ファイル容量
SAM®
コンパクトデジタルマスフローコントローラ SAM® 　SFC1480Fシリーズ	661KB
マスフローコントローラ SAM® 　1480G/2480Gシリーズ	1,186KB
マスフローコントローラ SAM® 　SFC1480FX/2480FXシリーズ	918KB
集積ガスパネル	549KB
Aera®
マスフローコントローラ Aera® 　FC-R7700シリーズ	383KB
マスフローコントローラ Aera® 　FC-Ｒ7800シリーズ	414KB
マスフローコントローラ Aera® 　FC-DR980	970KB
マスフローコントローラ Aera® 　PI-980®	808KB
マスフローコントローラ Aera® 　Transformer®	779KB
排気圧コントローラ Pressure controller EPV100シリーズ
マスフローメータ Aera® 　FM-R37シリーズ
マスフローメータ Aera® 　FM-R87シリーズ
気化器 Vaporizer ASシリーズ
リフィールシステム Refill system RSシリーズ

修理依頼書（SAM 製品、AERA 製品）　209KB

※修理依頼書に必要事項をご記入いただき、現品に添付の上、弊社までお送りください。
なお、SAM製品、AERA製品各々の送付先が異なりますのでご注意ください。

送り先
【SAM 製品】 日立金属ファインテック(株)　サムリサーチ事業所　生産管理Gr.修理担当 〒510-8102　三重県三重郡朝日町小向210番地 TEL 059-377-3511�� FAX 059-377-4575
【Aera 製品】 日立金属ファインテック株式会社　八王子事業所 〒192-0032　東京都八王子市石川町2971-8 TEL 042-645-8253 FAX 042-660-0320

※保証期限内のクレーム・調査ご依頼は、営業部までお問い合わせください。

事業所	所在地
本社	〒105-8614 東京都港区芝浦一丁目2番1号(シーバンスN館) TEL : 03-5765-4000　FAX : 03-5765-8311
ファインフロー統括部	〒192-0032 東京都八王子市石川町2971-8 TEL : 042-645-8139　FAX : 042-660-1701
営業部	〒192-0032 東京都八王子市石川町2971-8 TEL : 042-645-8753　FAX : 042-660-0320
カスタマーサポート	〒192-0032 東京都八王子市石川町2971-8 TEL : 042-645-8253　FAX : 042-660-0320
北日本支店	〒980-0021 仙台市青葉区中央一丁目6番35号（東京建物仙台ビル） TEL : 022-267-0216　FAX : 022-266-7891
関西支店	〒541-0041 大阪市中央区北浜三丁目5番29号(日生淀屋橋ビル) TEL : 06-6203-9755　FAX : 06-6202-0730
中国支店	〒732-0827 広島市南区稲荷町2番16号(広島稲荷町第一生命ビル13Ｆ) TEL : 082-535-1711　FAX : 082-535-1713

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