リニアモータ駆動大型XYθステージ リニアモータ駆動大型XYθステージ

リニアモータ
駆動
大型XYθ
ステージ

概要

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイの大判化および高精細化の進展にともない、それらの製造装置には高速・高精度位置決めおよび大ストローク化の要求が多くなっています。 これらの要求を満足し、さらに次世代プロセスを視野に入れたリニアモータダイレクト駆動による大型XYθステージの開発および製品化を行いました。 

特長

システムの高いパフォーマンスは推力を発生するモータ部、これを制御するコントローラ部、高精度な走りを可能にするステージ部のトータル性能が必要である。これらを一貫して開発した本システムは以下の特長をもつ。

1.高速・高精度位置決め高性能希土類マグネットを使用したPM 型直流コアレスコイルモータで各軸をダイレクト駆動するため、ロングストローク仕様でも高速でかつ高精度の位置決めが可能である。また高速・高精度の両立は従来の粗動用ステージと微動用ステージの組み合わせが不要で、システムの簡素化や小型・軽量化を実現した。
2.低騒音、低発塵ボールネジを使用しないステージ構成のため低騒音化できる。オイルミスト飛散原因となる回転部がないので低発塵である。またモータは非接触で駆動するのでメンテナンスフリーである。
3.高信頼性、低コスト、短納期モータコア部に当社標準リニアモータを採用。高信頼性およびパーツの共通化により安価で短納期のシステム構築が可能である。
4.幅広い汎用性自社開発のモータコントローラは、マイコンにより制御プログラムの書き換えができる。また低速から高速まで広い運転領域の要求や、位置決め用途または等速性用途などさまざまな要求に個別の対応ができる。

基本仕様

項目 単位 仕様
モータ推力・トルク X軸 N 200
  Y軸 N 300
  θ軸 N・m 50
ストローク X軸 mm 1100
  Y軸   1600
  θ軸   ±5
負荷重量   N 588
絶対位置精度 X軸 μm 30
  Y軸 μm 30
  θ軸 μm 30
繰返し位置精度 X軸 μm ±1
  Y軸 μm ±1
  θ軸 μm ±2
XY 軸直角度 400×600 μm 25
平面度   μm 40
真直度 X軸:垂直方向 μm 10
  水平方向 μm 10
  Y軸:垂直方向 μm 10
  水平方向 μm 10
ピッチング X軸 μm 10
  Y軸 μm 10
ヨーイイング X軸 μm 10
  Y軸 μm 10
リニアモータ

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