スパッタリング用磁気回路 スパッタリング用磁気回路

スパッタ
リング用
磁気回路

概要

ターゲットの上側に磁場を形成する(ターゲットの裏側に磁石を置く)ことにより、電子をターゲット近傍に閉じ込め基板へのダメージを低減させることが出来ます。当社ではご要望の磁場分布をシュミレーションし、最適な磁気回路を提供します。

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